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上海矽图智能技术有限公司

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Dipho 100 晶粒计数仪

价 格:
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  • 行业分类:
    仪器仪表/计数器
  • 产品类别:
  • 品  牌:
    矽图智能
  • 规格型号:
    Dipho 100
  • 生 产 商:
    上海矽图智能技术有限公司
  • 产  地:
    中国上海市浦东新区
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详细介绍

1.    最大支持2寸圆片、4寸晶圆方片计数;

2.    视野范围:90*90 毫米;

3.    支持最小尺寸晶粒:有背镀晶粒5*5mil,无背镀晶粒电极直径75um;

4.    支持读码功能,UPH>400片/小时;

5.    快捷键完成“读码+计数+打印标签”;

6.    异常晶粒卡控:散晶、双胞、粘连、偏离;

7.    标签打印:支持多模板打印;

8.    支持联机点测机数据或数据库,自动调取数据。

 

产能

UPH(片/小时)

     >=400

设备性能

90*90 mm视场

 

1.    不透明晶粒,最小可识别晶粒尺寸为5*5mil;

2.    透明晶粒,最小可识别电极尺寸为3*3mil。

晶粒间距

1.        支持最小1.2倍扩膜后间距。

最大计数误差(@3σ)

 

1.  不透明≦ ±0.03% ;

2.  透明晶粒 ≦±0.05%。

离型纸

不需要去除离型纸。

原始标签

不需要撕掉原有标签,系统自动过滤。

计数速度(秒/片)

0.5 - 2.0

MES功能

 

1.    分选机原始CSV数据接入企业MES;

2.    标准Access数据格式接入企业MES;

3.    支持WebService接口数据接入企业MES。

读码功能

支持一维条码识别,自动录入膜号。

晶粒检测(报警)功能

1.    卡控散晶(稀疏晶粒)。

2.    卡控双胞或者粘连晶粒。

3.    卡控晶粒偏离角度过大(开发中)。

4.    支持卡控晶圆放置抖动成像(作业员未放置稳定进行拍照计数)

标签打印

支持标签编辑,即时打印标签,支持条码打印。

计数结果保存形式

 

9.    常规文件保存CSV格式 TXT格式;

10.分选机联机报表数据文件;

11.图像截屏存档文件;

12.BinID命名文件。

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